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Quednau, Sebastian ; Greiner, Felix ; Schlaak, Helmut F. ; Rauber, Markus ; Ensinger, Wolfgang ; Neumann, Reinhard (2010)
Integration von Nanodrahtarrays in Mikrosysteme für die Gasflusssensorik.
In: GMM Fachbericht 63 "Mikro-Nano-Integration", 2010
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