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Endres, Ralf (2011):
Gate-Last-Prozessintegration und elektrische Bewertung von High-k-Dielektrika und Metall-Elektroden in MOS-Bauelementen.
Darmstadt, Technische Universität,
[Ph.D. Thesis]
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Endres, Ralf (2011):
Gate-Last-Prozessintegration und elektrische Bewertung von High-k-Dielektrika und Metall-Elektroden in MOS-Bauelementen.
Darmstadt, Technische Universität,
[Ph.D. Thesis]