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Endres, Ralf (2011)
Gate-Last-Prozessintegration und elektrische Bewertung von High-k-Dielektrika und Metall-Elektroden in MOS-Bauelementen.
Technische Universität
Ph.D. Thesis, Primary publication
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Endres, Ralf (2011)
Gate-Last-Prozessintegration und elektrische Bewertung von High-k-Dielektrika und Metall-Elektroden in MOS-Bauelementen.
Technische Universität
Ph.D. Thesis, Primary publication