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Jungnickel, Uwe (2004)
Miniaturisierte Positioniersysteme mit mehreren Freiheitsgraden auf der Basis monolithischer Strukturen.
Technische Universität Darmstadt
Ph.D. Thesis, Primary publication
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Jungnickel, Uwe (2004)
Miniaturisierte Positioniersysteme mit mehreren Freiheitsgraden auf der Basis monolithischer Strukturen.
Technische Universität Darmstadt
Ph.D. Thesis, Primary publication