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2004

Jungnickel, Uwe (2004):
Miniaturisierte Positioniersysteme mit mehreren Freiheitsgraden auf der Basis monolithischer Strukturen.
Darmstadt, Technische Universität, [Online-Edition: http://elib.tu-darmstadt.de/diss/000496],
[Ph.D. Thesis]

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