Der Monte Carlo Code TRAX, der auf der Simulation von einzelnen Interaktionen basiert, wurde erweitert, um die Erzeugung und den Transport von niederenergetischen Elektronen in Festkörpern zu beschreiben. Die Reichweite von Elektronen mit Energien unterhalb 1keV liegt auf der Nanometerskala. Es wurden komplette Sammlungen von Wirkungsquerschnitten für Elektronen mit Energien unterhalb 1 keV, bis hin zu 1 eV, für verschiedenste Target Materialien zusammengetragen und beurteilt. Die Anwendbarkeit und Gültigkeit der Wirkungsquerschnitte wurde anhand von experimentellen Daten überprüft, sofern vorhanden. Der Code wurde zudem im Hinblick auf die Erzeugung von Augerelektronen und -Kaskaden erweitert. Weiterhin wurde die Berücksichtigung inhomogener Targets ermöglicht. Mit Hilfe des erweiterten TRAX Codes konnten Daten des Toroid-Elektronenspektrometers der GSI reproduziert werden, bei dem als Targets dünne Festkörperfolien aus Kohlenstoff, Nickel, Silber und Gold verwendet wurden. Weiterhin wurde die Radialdosis um eine Teilchenspur auf der Nanometerskala berechnet. Die Berücksichtigung von Augerelektronen-Kaskaden ermöglichte es zu untersuchen, ob metallis- che Nanopartikel in Kombination mit Protonen- oder Elektronenbestrahlung zu einer lokalen Dosiserhöhung führen können.