Barium-Strontium-Titanat (BST)-Komposit-Keramikvaraktoren finden ihre Anwendung in Hochleistungsimpedanzanpassungsschaltungen in niederfrequenten ISM Bändern, insbesondere um 13,56 MHz. In dieser Arbeit wird die Modellierung und hausinterne Entwicklung solcher Varaktoren vorgestellt, wobei der Schwerpunkt auf der Kapazitätsabstimmbarkeit und dem akustischen Resonanzverhalten liegt. Diese Abstimmungskreise sind für Plasmaprozesse in der Halbleiterindustrie von entscheiden der Bedeutung, da sie die Integrierbarkeit erhöhen und die Größe integrierter Schaltungen (ICs) verringern. Derzeit werden in diesen Anpassungsschaltungen überwiegend mechanisch abgestimmte Varaktoren eingesetzt, da sie extrem verlustarm sind und eine hohe Linearität aufweisen. Sie leiden jedoch unter einer begrenzten Abstimmzeit von 1 ms, was die Möglichkeit eröffnet, schnell abstimmbare und vergleichsweise kompakte abstimmbare Ferroelektrika wie Varaktoren auf BST-Basis zu implementieren. Im Vergleich dazu haben diese Varaktoren höhere Verluste, und um die verlustarmen Standards von mechanisch abgestimmten Varaktoren zu erreichen, werden BST-basierte Verbundvaraktoren verwendet. In solchen Verbundvaraktoren wird dem BST ein verlustarmes und linear-elastisches Dielektrikum wie Magnesiumborat (MBO) hinzugefügt, um den Materialverlust zu verringern. Die BST-Verluste setzen sich aus zwei Hauptkomponenten zusammen: dielektrische Verluste und akustische Resonanzverluste. Während der dielektrische Verlust in der Vergangenheit ausgiebig untersucht wurde, sind akustische Resonanzen, die auf elektrostriktiv induzierte Piezoelektrizität zurückzuführen sind, noch weniger untersucht. Sie sind einer der Hauptschwerpunkte der Modellierung in dieser Arbeit. Ein weiterer Aspekt von BST-Verbundwerkstoffen, die Durchstimmbarkeit, wurde ebenfalls umfassend erforscht, da frühere Modelle entweder nicht genau genug waren oder die Durchstimmbarkeit erheblich von Experimenten abwich. Daher wird die Modellierung der Abstimmbarkeit zu einem weiteren Schwerpunktbereich. Es wird ein erstes eindeutiges Modell vorgeschlagen, das das abstimmbare Verhalten des BST-Verbundvaraktors für beliebige Volumenzusammensetzungen von BST und MBO genau und präzise vorhersagt. Die aus den elektromagnetischen Simulationen berechnete Abstimmbarkeit zeigt massive Unterschiede im Vergleich zur gemessenen Abstimmbarkeit. In-folgedessen wird eine hausinterne Lösung entwickelt, um Verschiebungen der Curie-Temperatur TC in das Modell einzubeziehen, die auf die Materialveränderungen während des Mischens zurückzuführen sind, was dazu beiträgt, die massiven Abweichungen in der Abstimmbarkeit zu mildern. Für den 80 Vol-% BST-Varaktor sinkt die Abweichung der Abstimmbarkeit zwischen Simulationen und Messungen von 32% auf etwa 2%, was auf die Bedeutung der Integration von TC Verschiebungen hinweist. Darüber hinaus wird bei der Modellierung akustischer Resonanzen ein multiphysikalischer Ansatz, bestehend aus HF- und strukturmechanischen Domänen, implementiert, um die Auswirkungen der induzierten Piezoelektrizität unter dem Einfluss elektrischer Vorspannungsfelder nachzuahmen, die für solche Resonanzen verantwortlich sind. Das Modell bestätigt das Vorhandensein von akustischen Resonanzen bei denselben Frequenzen wie bei den Messungen. Die akustischen Resonanzen werden im BST-Verbundvaraktor nahezu vollständig unterdrückt. Ein Rückgang des äquivalenten Serienwiderstands von etwa 60 Ω auf 10 Ω in den Simulationen und ein Anstieg des Q-Faktors Qε von etwa 5 auf 300 bei 10 MHz unter elektrischen Feldern von 1,1 kV/mm zeigen den entscheidenden Vorteil des Zusatzes von MBO zum BST-Material.