Dielektrische Elastomeraktoren (DEAs) werden seit mehr als 30 Jahren intensiv untersucht. In letzter Zeit ist es durch neue Herstellungsverfahren gelungen, sehr dünne Elastomer- und Elektrodenschichten zu erzeugen. Die Entwicklung attraktiver Anwendungen, in denen DEAs Vorteile gegenüber konventionellen Technologien bieten, ist daher für die Weiterentwicklung der Technologie notwendig. In dieser Arbeit werden neue biokompatible mikrofluidische Syteme auf der Basis von DEA entwickelt. Im ersten Teil dieser Arbeit werden mehrere Prototypen von peristaltischen Pumpen aus einlagigen dielektrischen Elastomeraktoren entworfen, hergestellt und charakterisiert. Obwohl die hergestellten Prototypen keine Pumpleistung erzielten konnten hiermit neue Erkenntnisse über die Möglichkeiten der EAP-Technologie gewonnen wurden. Der zweite Teil der Arbeit befasst sich mit der Herstellung und Charakterisierung einer Mikropumpe mit Mischer als neuartige Anwendung von dielektrischen Elastomer-Stapelaktoren. Dieses neue System basiert auf peristaltischen Bewegungen, die für das schonende Pumpen und Mischen in der Mikofluidik geeignet sind. Experimentell ermittelte Daten zeigen eine maximale Flussrate von 21,5 µl/min bei 10 Hz. Die Bildanalyse am Auslass des Mischers beweist eine 50/50 Mischung, wenn alle Aktoren mit der gleichen Geschwindigkeit und Spannung arbeiten. Die Leistung des pumpenden Mikromischers wurde mit der Finite-Elemente-Methode unter Verwendung der COMSOL Multiphysics® Software weiter untersucht. Die Simulationen zeigen die Vielseitigkeit der Pumpeigenschaften eines solchen Mikrogeräts mit einem Durchfluss im Bereich von sehr wenigen µl/min bis zu einigen ml/min und einem Druck im Bereich von wenigen Pa bis zu Hunderten von kPa, indem nur das Tastverhältnis, die Phasenverschiebung und/oder die Betätigungsfrequenz der einzelnen Aktoren geändert werden.