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Utzmann, Fabian (2020)
Plasmapolymerisation siliziumbasierter Schichten zum Korrosionsschutz von Leiterplatten: Schicht- und Prozessentwicklung an einem Reaktorkonzept für die industrielle Elektronikfertigung.
Technische Universität Darmstadt
doi: 10.25534/tuprints-00011418
Ph.D. Thesis, Primary publication

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