Elektronische Baugruppen werden zum Schutz vor korrosiv wirkenden Umwelteinflüssen beschichtet. Dabei werden für gewöhnlich lösemittelhaltige Schutzlacke aufgetragen. Als Alternative wurde in dieser Doktorarbeit die Anwendbarkeit eines neuartigen Niederdruck-Plasmareaktorkonzeptes untersucht. Das Konzept sieht eine nahtlose Integration in eine industrielle Elektronikfertigung mit hohem Automatisierungsgrad vor, weshalb sich der Aufbau der Beschichtungskammer stark von bisher bekannten Plasmareaktoren unterscheidet. Dabei wurde erstmals ein Leiterplatten-Transportmagazin als Schnittstelle für einen Plasmaprozess genutzt. Demzufolge musste zunächst der Zusammenhang zwischen den Einflussparametern und Einzelschichteigenschaften experimentell ermittelt werden. Basierend darauf wurden mehrlagige Schichtkonzepte entwickelt und deren Schutzwirkung im Vergleich zu konventionellen Lacken untersucht. Zur Abscheidung der siliziumbasierten Dünnschichten wurde ein Präkursorsystem aus Hexamethyldisiloxan und Sauerstoff genutzt.