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Eicher, Dirk (2011):
Entwurf und tiefenlithographische Realisierung mikrostrukturierter Schrittantriebe.
Darmstadt, Technische Universität,
[Ph.D. Thesis]
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Eicher, Dirk (2011):
Entwurf und tiefenlithographische Realisierung mikrostrukturierter Schrittantriebe.
Darmstadt, Technische Universität,
[Ph.D. Thesis]