In dieser Arbeit werden analytische Methoden zur Fehlerdiagnose an elektrohydraulischen Aktuatoren untersucht. Hierzu werden das erweiterte Kalman Filter (EKF) und robuste Paritätsraumverfahren angewendet und weiterentwickelt. Nach einer detaillierten Analyse und einer physikalischen, nichtlinearen Modellierung des betrachteten elektrohydraulischen Aktuators werden die möglichen Diagnosemethoden bewertet. Die am besten geeigneten Methoden (EKF und Paritätsgleichungen) werden zusammen mit direkt messbaren Symptomen in einer wissensbasierten Ergebnisklassifikation mit Fuzzy-Logik kombiniert. Alle methodischen Ergebnisse werden an einem entwickelten Prüfstand verifiziert. Dieser ist weitgehend automatisiert und bietet zusätzlich die Möglichkeit, physikalische Fehlereinbauten zur Ergebnisvalidierung zu integrieren.