Metallische Nanogläser sind eine neue Klasse amorpher Materialien mit interessanten magnetischen und mechanischen Eigenschaften. Ihr charakteristisches Merkmal ist ein erhöhtes freies Volumen in den Zwischenräumen oder Grenzflächen zwischen den konstituierenden runden Partikeln, im Vergleich zum freien Volumen ihrer Kerne. Bis dato werden Nanogläser hauptsächlich mittels thermischer Verdampfung in einem Edelgas-Kondensations-Prozess (IGC, engl. inert gas condensation) hergestellt. Da die beteiligten Elemente unterschiedliche Dampfdrücke haben und thermische Verdampfungsprozesse daher schlecht reproduzierbar sind, ist es schwierig bis unmöglich, Gläser mit unterschiedlicher Zusammensetzung gezielt zu synthetisieren. In dieser Arbeit wurden vollständig amorphe Nanogläser aus Cu50Zr50, Cu60Zr40 und Pd84Si16 mittels Magnetron-Sputtern-IGC-Prozess unter dem Aspekt guter Reproduzierbarkeit hergestellt. Die Prozessparameter wurden derart variiert, bis die Ausbeute durch den Prozess groß genug war um eine Tablette aus dem synthetisierten Material herzustellen. So wurde der Einfluss von Edelgasdruck, Sputterleistung, Materialzusammensetzung, etc. auf die Syntheserate in der vorliegenden Arbeit untersucht. Die Untersuchung der Eigenschaften der hergestellten Nanogläser, deren Vergleich mit herkömmlichen metallischen Gläsern, welche nach dem Schmelzspinnverfahren hergestellt wurden, und somit der Zusammenhang zwischen Struktur und Eigenschaften der Nanogläser bilden den Schwerpunkt dieser Arbeit. Eine Strukturanalyse der metallischen Nanogläser ergab, dass die hergestellten Proben eine amorphe Struktur besitzen. Die Ausscheidung einzelner Elemente wurde mittels Atomsonden-Tomographie untersucht. In bedeutender Menge wurden solche Ausscheidungen nur in Cu-Zr-Legierungen gefunden, während nur eine geringe chemische Inhomogenität in Pd-Si-Nanogläsern festgestellt wurde. Die Kristallisationstemperatur lag für Cu-Zr-Nanogläser über der von mittels Schmelzspinn-Verfahren hergestellten Proben, während für das Pd-Si-System Glasübergangs- und Kristallisationstemperatur der Nanogläser jeweils unter der der Proben aus dem Schmelzspinn-Verfahren lagen. Die mechanischen Eigenschaften von Nanogläsern und schmelzgesponnenen Filmen wurde in Härteprüfungsuntersuchungen und mit Hilfe von Mikrosäulendruckversuchen bestimmt. Härte und Elastizitätsmodul waren in Cu-Zr-Nanogläsern und in Pd-Si-Nanogläsern erhöht im Vergleich zu den entsprechenden schmelzgesponnenen Bändern. Die Deformationmechanism von Cu-Zr- und Pd-Si-Nanogläsern unterschieden sich ebenfalls. Während sich Cu-Zr-Nanogläser im Härteprüftest homogen verformten und sich keine Scherbänder bildeten, traten bei Pd-Si-Nanogläsern Scherbänder um die Eindruckstelle auf. Ein ähnliches Ergebnis wurde auch in den Mikrosäulendruckversuchen festgestellt. Cu-Zr-Nanogläser zeigen im Vergleich zu schmelzgesponnenen Bändern eine weniger katastrophale Verformung, während Scherbandbildung sowohl bei Pd-Si-Nanogläsern als auch bei den schmelzgesponnenen Bändern gefunden wurden. Topologieeffekte in den Zwischenräumen der Nanoglaspartikeloberflächen wurden für metallische Pd-Si-Nanogläser mithilfe molekulardynamischer Simulationen untersucht. Die Simulationen ergaben, dass der Anteil, insbesondere der Si[0,3,6,0] Polyeder, eine wichtige Rolle bei der Bildung von Scherbändern spielt und sich damit auch auf die Duktilität von glasartigen Pd-Si-Legierungen auswirkt. Mit steigendem Si[0,3,6,0]-Anteil in den Grenzflächen der Pd-Si-Nanogläser änderte sich der Deformationsmechanismus von homogener zu heterogener Verformung. Der Einfluss der chemischen Inhomogenität auf die thermischen und mechanischen Eigenschaften von Nanogläsern wird anhand eines Auscheidungsmodells detailliert erklärt. Ebenso wurden in dieser Arbeit auch Pd80Si20-Dünnfilme, die mittels konventionellem Magnetron-Sputtern hergestellt wurden, untersucht. In Dünnfilmen konnten aber keine Ausscheidungen festgestellt werden. Eine Temperaturbehandlung der dünnen Nanoglasfilme führte zu keiner Veränderung der Nanostruktur, selbst nach der Kristallisation der Filme. Der Deformationsmechanismus war gewissermaßen derselbe wie bei den schnell abgeschreckten Bändern. Die möglichen Gründe dafür werden ebenfalls diskutiert.