Die Entdeckung der Hochtemperatursupraleitung hat die Entwicklung geeigneter Duennschichtherstellungsmethoden fuer komplexe Oxide stark beeinflusst. Eine Moeglichkeit stellt die Adaption der Molekularstrahl Epitaxie fuer das Wachstum oxidischer Materialien dar. Daneben existiert fuer das Wachstum oxidischer Materialien die Methode der gepulsten Laserdeposition, die sich durch einen genauen Stoechiometrieuebertrag vom Target zum Substrat auszeichnet. In dieser Dissertation wurden beide Verfahren verwendet. Fuer zukuenftige Anwendungen sind epitaktisch gewachsene Schichten neuer Materialien von hoher Bedeutung. Darueber hinaus erlaubt das kontrollierte Wachstum duenner Schichtmaterialien, welches typischerweise entfernt vom thermodynamischen Equilibrium statt findet, Untersuchungen fundamentaler phyikalischer Materialeigenschaften.