In dieser Arbeit wurden Methoden zur Analyse organischer Spurenverunreinigungen in hochreinen anorganischen Chemikalien für die Halbleiterproduktion mit Hilfe der Gaschromatographie entwickelt. Untersucht wurden hochreines Wasser, konzentrierte Mineralsäuren, Alkalien und H2O2. Die entwickelten Methoden waren die Direktaufgabe von Wasser in die GC und die Anreicherung mittels Online-SPE-GC für das hochreine Wasser. Für die korrosiven Chemikalien wurde eine Methode zur Mikroextraktion und eine Methode zur Festphasenmikroextraktion (SPME) entwickelt. Für die SPME aus korrosiven Chemikalien wurden Kohlenstoffphasen entwickelt. Eine Methode zur Matrixunabhängigen Kalibrierung wurde auf die SPME übertragen. In den untersuchten Chemikalien wurden n-Alkane, i-Alkane und Phtalate gefunden.