Die vorliegende Arbeit bietet nicht nur einen Überblick über die Tätigkeit des Autors in den vergangenen Jahren am Institut für Elektromechanische Konstruktionen, sondern in Kapitel 2 auch einen fundierten Einblick in den Stand der Technik der integrierten Sensor-Aktor-Systeme. Diese werden unterschieden in integrierte Systeme, Aktorsysteme, die die sensorische Teilfunktion als Nebeneffekt ausnutzen und Aktoren mit intrinsischen Messverfahren. Dem voran gehen Überlegungen zum Entwicklungsprozess als solchem mit Blick auf integrierte feinwerktechnische Sensor-Aktor-Systeme. Deutlich wird, dass sich der überschaubare Entwicklungsumfang auf Komponentenebene gut in bekannte Product Lifecycle Management Prozesse eingliedern und mit den bekannten Modellen umfassend beschreiben lässt. Besonders hervorzuheben und von einem wissenschaftlichen Standpunkt betrachtet sind die Betrachtungen zur Miniaturisierbarkeit von Sensor und Aktorprinzipien in Kapitel 3, aus denen wertvolle Anregungen und Erkenntnisse für die Gestaltung zukünftiger Projekte in diesem Forschungsgebiet für Belange der Wissenschaft aber auch für die industrielle Produktentwicklung abgeleitet werden können. Deutlich wird hier, dass für Aktoren besonders die Leistungsdichte ein Auslegungskriterium darstellt. Für Sensoren hingegen kann das Signal-Rausch-Verhältnis als die Miniaturisierung limitierendes Kriterium identifiziert werden. Dies gilt unabhängig von den Anwendungs- und Praxisbeispielen, die in Kapitel 4 die Bandbreite der durchgeführten Arbeiten widerspiegeln und kann auch getrennt von den in Kapitel 5 angestellten Überlegungen zu den Aspekten, die während des Entwurfsprozess zu beachten sind, betrachtet werden. Der Entwurfsprozess und seine Modellierung mit Hilfe verschiedener Ansätze wurde in Kapitel 1 beschrieben und dient als Ausgangspunkt für zahlreiche Entwicklungen im Wirkungsbereich des Autors.