In der vorliegenden Arbeit wurden die Grenzflächeneigenschaften steuerbarer Kondensatoren auf Basis kathodenzerstäubter Bariumstrontiumtitanat (BST)-Dünnschichten, die als Schlüsselkomponenten zum Aufbau neuartiger passiver Hochfrequenzschaltungen und Systeme in moderner Mikrowellentechnik dienen, modifiziert und umfassend untersucht. Der zentrale Schwerpunkt dieser Arbeit liegt auf der Korrelation von Grenzflächen-, elektrischen und dielektrischen Eigenschaften. Zur Grenzflächenmodifizierung wurden hoch isolierende Aluminiumoxid-Zwischenschichten bzw. transparente leitfähige Zinn-dotierte Indiumoxid (ITO)-Elektroden eingesetzt. Die Untersuchung der Grenzflächenausbildung, d. h. der Bandanpassung und der Barrierenhöhe zwischen BST und Aluminiumoxid bzw. ITO, erfolgte mittels in situ Photoelektronenspektroskopie. Basierend auf einer Parallelplattenstruktur wurden die elektrischen und dielektrischen Eigenschaften der BST-Kondensatoren im Hinblick auf die durch die Grenzflächenmodifizierung veränderte Ladungsträgerinjektion charakterisiert. Ausgeprägte Strom-Spannungs-Charakteristiken wurden beobachtet und auf unterschiedliche Injektionsmechanismen zurückgeführt. Das dadurch gewonnene Verständnis über die Einflüsse der Grenzflächen wurde in dieser Arbeit für die Modifizierung bzw. Verbesserung der dielektrischen Eigenschaften ausgenutzt, zum Beispiel für die Erhöhung des Gütefaktors oder die Entwicklung neuer Funktionalitäten. Es konnte gezeigt werden, dass die elektronische Struktur der Materialien und deren Grenzflächen eine entscheidende Rolle für die Eigenschaften der Dünnschicht-Bauteile spielen.