In dieser Arbeit werden die Eigenschaften dotierter BaTiO₃ Dünnschichten behandelt, die mittels Magnetron-Kathodenzerstäubung hergestellt wurden. Durch die ferroelektrischen Eigenschaften des BaTiO₃ können diese für steuerbare Kondensatoren sowie in nicht-flüchtigen Speichern verwendet werden. Die Eigenschaften der mit Kathodenzerstäubung hergestellten Schichten sind jedoch wesentlich schlechter als die von keramischen Volumenmaterialien. Diese Arbeit verfolgte das Ziel die dielektrischen Eigenschaften der Schichten zu verbessern, indem Multilagen von mit unterschiedlich geladenen Defekten (Mn, Nb, La) hergestellt wurden. Der Vergleich der Multilagen zu den dotierten Einzelschichten ergab, dass die Permittivität durch das Einbringen der Grenzflächen erhöht werden kann. Dies steht dem allgemeinen Verständnis entgegen, dass Grenzflächen inaktive Schichten, sogenannte „deadlayers“ bilden. Die Schichten wurden mittels Röntgenbeugung (XRD), Photoelektronen-Spektroskopie (XPS, UPS), Elektronen-Spin-Resonanz (EPR), Impedanz-Spektroskopie, sowie Flugzeit-Massenspektrometrie (TOF-SIMS) untersucht. Dadurch konnten verschiedene physikalische und chemische Größen, wie die Fermi-Energie und die Defekteigenschaften an den Grenzflächen untersucht werden. Insbesondere wurde die Lage des Fermi-Niveaus in den Mn-dotierten Schichten, die auf unterschiedlichen Substraten abgeschieden wurden, im Detail untersucht, um den Einfluss des Substrats auf Aufladungen und eventuelle Beeinflussungen der Messungen durch Photospannungen aufzuklären. Um die Grenzen des Fermi-Niveaus besser zu verstehen wurden auch Mn-dotierte Schichten mittels zusätzlicher Anwendung eines Sauerstoffplasmas abgeschieden. Dieses Verfahren wurde speziell für diese Arbeit entwickelt.