Das Ziel des ersten Teils dieser Arbeit war der Aufbau und die Erprobung einer digitalen Hochfrequenzregelung für den supraleitenden Darmstädter Elektronenbeschleuniger S-DALINAC, welche aus einem Niederfrequenz- und einem Hochfrequenzmodul besteht. Das im Rahmen dieser Arbeit entwickelte Hoch- frequenzmodul ist aus modernen integrierten Bauteilen aufgebaut, die neben verbesserten Hochfrequenzeigenschaften auch eine Temperaturstabilisierung besitzen. Gegenwärtig werden drei supraleitende Strukturen über einen Pegelwandler mit den neuen Modulen betrieben, so dass seine Praxistauglichkeit bewiesen ist. Ebenfalls im Rahmen dieser Arbeit wurde ein neu entwickeltes Niederfrequenzmodul in Betrieb genommen, das im Unterschied zu der existierenden Regelung keine analoge, sondern eine digitale Signalverarbeitung mit einer schnellen Recheneinheit (FPGA, Field Programmable Gate Array) durchführt. Durch die hohe Verarbeitungsgeschwindigkeit des neuen Niederfrequenzmoduls ist es gelungen, einen neuen, im Vergleich zur bestehenden Regelung komplexeren, Regelalgorithmus für die digitale Regelung zu entwickeln. In diesem Algorithmus wurde, sowohl in der Amplituden- als auch in der Phasenregelung, zu dem existierenden Proportionalregler ein Integralregler ergänzt. Dadurch ist die digitale Regelung in der Lage, selbst kleinste Restfehler auszugleichen, die von reinen Proportionalreglern nicht ausgeglichen werden können. Weiterhin wurde der Regelbereich der Phasenregelung durch Implementierung einer Vektorrotation auf ±180° erweitert. Ein Fangen der Regelung zu falschen Parametern wird duch eine geänderte Amplitudenmodulation verhindert. Mit diesen beiden Modulen, dem Hochfrequenz- und dem Niederfrequenzmodul, wurde die erste digitale Hochfrequenzregelung für den S-DALINAC aufgebaut und an einer supraleitenden Niobstruktur erfolgreich erprobt. Mit der Regelung ist unter Betriebsbedingungen eine Amplitudenstabilität von 2.5·10−4 und eine Phasenstabilität von 0.28° erreicht worden. Verglichen mit der bisherigen Regelung wird durch das neue System die Amplitudenstabilität um den Faktor 8 verbessert, wobei die Phasenstabilität vergleichbar ist. Um die geforderte Amplitudenstabilität von 8·10−5 zu erreichen, sind weitere Verbesserungen im Regelalgorithmus vorzunehmen. Im Rahmen dieser Arbeit wurde darüber hinaus ein universelles und modulares Messsystem in Betrieb genommen. Dies bildet das Herzstück einer aktiven Energiestabilisierung des Elektronenstrahls mittels Flugzeitmessung. Dafür wurde die notwendige Messvorrichtung aufgebaut. Bei der Erprobung konnte gezeigt werden, dass mit diesem System relative Energieabweichungen von 7.6·10−5 gemessen werden können. Ferner wird das modulare Messsystem zwischenzeitlich zur Diagnose und Verarbeitung weiterer Signale verwendet. Hierzu gehören die Erfassung der Strahlströme, die Uberwachung von Temperaturen und die Kontrolle der Hochspannung.