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Entwurf einer Elektronenlinse mit elektrisch weit verschiebbarer Achse

Schmid, Peter :
Entwurf einer Elektronenlinse mit elektrisch weit verschiebbarer Achse.
[Online-Edition]
TU Darmstadt
[Ph.D. Thesis], (2000)

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Item Type: Ph.D. Thesis
Title: Entwurf einer Elektronenlinse mit elektrisch weit verschiebbarer Achse
Language: German
Abstract:

Im Rahmen einer Doktorarbeit wurde eine wesentlich verbesserte variable - axis electron lens (VAL) mit Hilfe neuer Methoden berechnet. Diese rein elektrische Linse erlaubt eine beliebig weite Verschiebung der Achse in eine Richtung. Die Elektroden der Linse sind in einer Richtung quer zur optischen Achse periodisch angeordnet. Die Periodizität der Anordnung entlang der ausgezeichneten Richtung ermöglicht eine stigmatische Abbildung in einem weiten Arbeitsbereich, ohne daß sich die Abbildungseigenschaften bei der Verschiebung der Achse verschlechtern. Die Verwendung rein elektrischer Felder erlaubt eine schnellere und weitere Verschiebung der Achse als die bisherigen auf magnetischen Rundlinsen basierenden Systeme. Zusätzlich ermöglicht das Kammlinsenkonzept aufgrund der Periodizität der Anordnung die Übertragung mehrere voneinander unabhängiger Strahlen, was zu einer Erhöhung des Durchsatzes führt.

Alternative Abstract:
Alternative AbstractLanguage
A sophisticated electrostatic ``variable-axis lens'' is proposed which allows an arbitrary shift of the axis in one direction. For this purpose we employ a periodic arrangement of the electrodes in a direction perpendicular to the initial axis. The excitations of the electrodes is chosen in such a way that stigmatic imaging is conserved when the axis is shifted. The purely electric field components guarantee a fast dynamic shift of both the axis and the focusing field. Owing to the translational symmetry of the arrangement, the system enables larger displacements of the axis than the conventional variable-axis lens A sophisticated electrostatic variable-axis lens is proposed which allows an arbitrary shift of the axis in one direction. For this purpose we employ a periodic arrangement of the electrodes in a direction perpendicular to the initial axis. The excitations of the electrodes is chosen in such a way that stigmatic imaging is conserved when the axis is shifted. The purely electric field components guarantee a fast dynamic shift of both the axis and the focusing field. Owing to the translational symmetry of the arrangement, the system enables larger displacements of the axis than the conventional variable-axis lens.English
Uncontrolled Keywords: variable-axis lens, MOL, VAL, electrostatic lens, comb lens, multi beam lithography
Alternative keywords:
Alternative keywordsLanguage
variable-axis lens, MOL, VAL, electrostatic lens, comb lens, multi beam lithographyEnglish
Divisions: Fachbereich Physik
Date Deposited: 17 Oct 2008 09:20
Last Modified: 10 Dec 2012 10:09
Official URL: http://elib.tu-darmstadt.de/diss/000071
URN: urn:nbn:de:tuda-tuprints-710
License: Simple publication rights for ULB
Referees: Rose, Prof.Dr. Harald and Heber, Prof.Dr. Johann
Advisors: Rose, Prof.Dr. Harald
Refereed: 8 May 2000
URI: http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/id/eprint/71
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