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Entwurf einer Elektronenlinse mit elektrisch weit verschiebbarer Achse

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Schmid, Peter :
Entwurf einer Elektronenlinse mit elektrisch weit verschiebbarer Achse.
[Online-Edition]
TU Darmstadt
[Ph.D. Thesis] , (2000)

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    Abstract

    Im Rahmen einer Doktorarbeit wurde eine wesentlich verbesserte variable - axis electron lens (VAL) mit Hilfe neuer Methoden berechnet. Diese rein elektrische Linse erlaubt eine beliebig weite Verschiebung der Achse in eine Richtung. Die Elektroden der Linse sind in einer Richtung quer zur optischen Achse periodisch angeordnet. Die Periodizität der Anordnung entlang der ausgezeichneten Richtung ermöglicht eine stigmatische Abbildung in einem weiten Arbeitsbereich, ohne daß sich die Abbildungseigenschaften bei der Verschiebung der Achse verschlechtern. Die Verwendung rein elektrischer Felder erlaubt eine schnellere und weitere Verschiebung der Achse als die bisherigen auf magnetischen Rundlinsen basierenden Systeme. Zusätzlich ermöglicht das Kammlinsenkonzept aufgrund der Periodizität der Anordnung die Übertragung mehrere voneinander unabhängiger Strahlen, was zu einer Erhöhung des Durchsatzes führt.

    Item Type: Ph.D. Thesis
    Erschienen: 2000
    Creators: Schmid, Peter
    Title of the item: Entwurf einer Elektronenlinse mit elektrisch weit verschiebbarer Achse
    Language of the item: Deutsch
    Uncontrolled Keywords: variable-axis lens, MOL, VAL, electrostatic lens, comb lens, multi beam lithography
    Keywords/Subjects (SWD): Elektrostatische Linse, Elektronenlinse, Elektronenoptik, Elektronenstrahllithographie, Elektronenstrahlschreiben, Ionenstrahl, Teilchenoptik
    Sachgruppe der Dewey Dezimalklassifikation (DDC): UNSPECIFIED
    Division(s): Fachbereich Physik
    Date Deposited: 17 Oct 2008 11:20
    Last Modified: 05 May 2011 18:57
    Official URL: http://elib.tu-darmstadt.de/diss/000071
    URN: urn:nbn:de:tuda-tuprints-710
    Lizenz (Kurzform): Einfaches Publikationsrecht für die ULB Darmstadt
    Referees: Rose, Prof.Dr. Haraldand Heber, Prof.Dr. Johann
    Date of refereeing/review / Verteidigung / mdl. Prüfung: 08 May 2000
    Title (translated) (übersetzt):
    Title (translated)Language of translated title
    Outline of a variable-axis lens with arbitrary shift of the axis in one directionEnglish
    Keywords:
    KeywordsLanguage
    variable-axis lens, MOL, VAL, electrostatic lens, comb lens, multi beam lithographyEnglish
    Abstract (translated):
    Abstract (translated)Language of translated abstract
    A sophisticated electrostatic ``variable-axis lens'' is proposed which allows an arbitrary shift of the axis in one direction. For this purpose we employ a periodic arrangement of the electrodes in a direction perpendicular to the initial axis. The excitations of the electrodes is chosen in such a way that stigmatic imaging is conserved when the axis is shifted. The purely electric field components guarantee a fast dynamic shift of both the axis and the focusing field. Owing to the translational symmetry of the arrangement, the system enables larger displacements of the axis than the conventional variable-axis lens A sophisticated electrostatic variable-axis lens is proposed which allows an arbitrary shift of the axis in one direction. For this purpose we employ a periodic arrangement of the electrodes in a direction perpendicular to the initial axis. The excitations of the electrodes is chosen in such a way that stigmatic imaging is conserved when the axis is shifted. The purely electric field components guarantee a fast dynamic shift of both the axis and the focusing field. Owing to the translational symmetry of the arrangement, the system enables larger displacements of the axis than the conventional variable-axis lens.English
    URI: http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/id/eprint/71
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