Diese Dissertation ist im Rahmen des All-Oxide Photovoltaik Projekts entstanden, welches die Entwicklung einer vollständig oxidischen Solarzelle zum Ziel hatte. Die vorliegende Arbeit beschäftigt sich daher mit der Herstellung und Charakterisierung von oxidischen Dünnschichtmaterialien zur Lichtabsorption. Die Deposition der Schichten erfolgte mittels reaktiver (Ko-)Magnetron-Kathodenzerstäubung. Eine Charakterisierung der Proben erfolgte unter anderem mit Hilfe von Photoelektronenspektroskopie (XPS/UPS) und UV/VIS/NIR-Transmissionsspektroskopie. Die elektronischen Eigenschaften und das Absorptionsverhalten konnten dadurch in Abhängigkeit der Schichtzusammensetzung untersucht werden. Des Weiteren wurden Grenzflächenuntersuchungen zu potentiellen Kontaktmaterialien durchgeführt sowie Solarzellen im Labormaßstab hergestellt. Dadurch konnten sowohl Erkenntnisse über die Transitivität von Übergangsmetalloxiden als auch über den Einfluss von Fermi-Niveau-Pinning auf die offene Klemmspannung von Solarzellen gewonnen werden.