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Entwicklung von Methoden zur Untersuchung organischer Spurenverunreinigungen in hochreinen Chemikalien für die Halbleiterproduktion mit der Gaschromatographie

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Kusserow, Burkhard :
Entwicklung von Methoden zur Untersuchung organischer Spurenverunreinigungen in hochreinen Chemikalien für die Halbleiterproduktion mit der Gaschromatographie.
[Online-Edition]
TU Darmstadt
[Ph.D. Thesis] , (2000)

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    Abstract

    In dieser Arbeit wurden Methoden zur Analyse organischer Spurenverunreinigungen in hochreinen anorganischen Chemikalien für die Halbleiterproduktion mit Hilfe der Gaschromatographie entwickelt. Untersucht wurden hochreines Wasser, konzentrierte Mineralsäuren, Alkalien und H2O2. Die entwickelten Methoden waren die Direktaufgabe von Wasser in die GC und die Anreicherung mittels Online-SPE-GC für das hochreine Wasser. Für die korrosiven Chemikalien wurde eine Methode zur Mikroextraktion und eine Methode zur Festphasenmikroextraktion (SPME) entwickelt. Für die SPME aus korrosiven Chemikalien wurden Kohlenstoffphasen entwickelt. Eine Methode zur Matrixunabhängigen Kalibrierung wurde auf die SPME übertragen. In den untersuchten Chemikalien wurden n-Alkane, i-Alkane und Phtalate gefunden.

    Item Type: Ph.D. Thesis
    Erschienen: 2000
    Creators: Kusserow, Burkhard
    Title of the item: Entwicklung von Methoden zur Untersuchung organischer Spurenverunreinigungen in hochreinen Chemikalien für die Halbleiterproduktion mit der Gaschromatographie
    Language of the item: Deutsch
    Uncontrolled Keywords: GC, GC-MS, SPE, LLE, SPME, Kohlenstoffphasen, Matrixunabhängige Kalibrierung, Halbleiterchemikalien, Anorganische Säuren, NaOH, H2O2
    Keywords/Subjects (SWD): Analytische Chemie, Gaschromatographie, GC-MS, Extraktion, Flüssig-Flüssig-Extraktion, Festphasenmikroextraktion, Halbleiterwerkstoffe,Analytische Chemie, Gaschromatographie, GC-MS, Extraktion, Flüssig-Flüssig-Extraktion, Festphasenmikroextraktion, Halbleiterwerkstoff
    Sachgruppe der Dewey Dezimalklassifikation (DDC): 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 540 Chemie
    Division(s): Fachbereich Chemie
    Date Deposited: 17 Oct 2008 11:20
    Last Modified: 05 May 2011 18:57
    Official URL: http://elib.tu-darmstadt.de/diss/000053
    URN: urn:nbn:de:tuda-tuprints-535
    Lizenz (Kurzform): Einfaches Publikationsrecht für die ULB Darmstadt
    Referees: Ortner, Prof. Dr. Hugo
    Date of refereeing/review / Verteidigung / mdl. Prüfung: 29 May 2000
    Title (translated) (übersetzt):
    Title (translated)Language of translated title
    Development of methods for the determination of organic trace impurities in high purity chemicals for semiconductor production with gas chromatographyEnglish
    Keywords:
    KeywordsLanguage
    GC, GC-MS, SPE, LLE, SPME, Kohlenstoffphasen, Matrixunabhängige Kalibrierung, Halbleiterchemikalien, Anorganische Säuren, NaOH, H2O2Deutsch
    GC, GC-MS, SPE, SPME, Carbon Phase, Semiconductor Chemicals, LLE, Matrix Independent Calibration, Inorganic Acids, NaOH, H2O2English
    Abstract (translated):
    Abstract (translated)Language of translated abstract
    Methods for the analysis of organic trace impurities in high purity anorganic chemicals for semiconductor production with gas chromatography were developed. Analysed chemicals were ultrapure water, concentrated inorganic acids and bases and H2O2. For ultrapure water, methods were direkt injektion of high volumes of water and online SPE-GC. For the corrosive chemicals, methods were liquid-liquid microextraction and solid phase microextraction (SPME). SPME-Phases made of pure carbon werde developed. A method for matix independent calibration was used for SPME. We found n-alkanes, i-alkanes ant phtalate esters as analytes.English
    URI: http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/id/eprint/53
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