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Kathodenzerstäubte(Ba,Sr)TiO3-Dünnschichten für steuerbare Mikrowellenkomponenten Material-, Bauteil- und Grenzflächeneigenschaften

Schafranek, Robert :
Kathodenzerstäubte(Ba,Sr)TiO3-Dünnschichten für steuerbare Mikrowellenkomponenten Material-, Bauteil- und Grenzflächeneigenschaften.
TU Darmstadt
[Ph.D. Thesis], (2009)

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Item Type: Ph.D. Thesis
Title: Kathodenzerstäubte(Ba,Sr)TiO3-Dünnschichten für steuerbare Mikrowellenkomponenten Material-, Bauteil- und Grenzflächeneigenschaften
Language: German
Abstract:

In dieser Arbeit wurde der Einfluss der Präparationsbedingen auf die Zusammensetzung, Struktur und die elektronischen Eigenschaften von kathodenzerstäubten (Ba,Sr)TiO3 Dünnschichten untersucht und mit den Bauteileigenschaften von auf diesen Schichten aufbauenden Varaktoren in Metall/Isolator/Metall-Topographie in Zusammenhang gebracht. Des Weiteren wurden die bauteilrelevanten Kontakteigenschaften zwischen Dielektrikum und Metallisierung mittels in-situ Photoelektronenspektroskopie untersucht. Hierbei wurde eine starke Abhängigkeit der Schottky-Barrierenhöhe von der Grenzflächendefektkonzentration am Kontakt gefunden und die Defekte Sauerstoffleerstellen zugeordnet.

Alternative Abstract:
Alternative AbstractLanguage
In this work the influence of the deposition conditions on the composition, structure and electronic properties of sputter deposited (Ba,Sr)TiO3 thin films was investigated and brought in conjunction with the device properties of varactors based on these thin films in metal/insulator/metal topography. Furthermore the device relevant contact properties between insulator and electrode material were studied by meens of in-situ photoelectron spectroscopy. A strong dependence of the Schottky barrier height on the interface defect concentration was found and these defects could be identified as Oxygen vacancies.English
Classification DDC: 500 Naturwissenschaften und Mathematik > 500 Naturwissenschaften
500 Naturwissenschaften und Mathematik > 530 Physik
Divisions: Fachbereich Material- und Geowissenschaften > Materialwissenschaften > Oberflächenforschung / Surface Science
Date Deposited: 09 Sep 2009 07:34
Last Modified: 07 Dec 2012 11:55
URN: urn:nbn:de:tuda-tuprints-18739
License: Creative Commons: Attribution-Noncommercial-No Derivative Works 3.0
Referees: Klein, APL Prof. Andreas and Alff, Prof. Dr. Lambert
Refereed: 15 May 2009
URI: http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/id/eprint/1873
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